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殘余應(yīng)力分析儀的檢測(cè)厚度因檢測(cè)原理和儀器類(lèi)型而異，常見(jiàn)的有X射線法、超聲法、鉆孔法等，具體如下：
 
- X射線殘余應(yīng)力分析儀：通常X射線的穿透深度為5-30微米，主要用于檢測(cè)材料表面的殘余應(yīng)力。若配備相應(yīng)的剝層裝置，可獲得沿一定深度方向的應(yīng)力分布，但整體檢測(cè)深度仍然有限，一般適用于較薄的表層檢測(cè)。
- 超聲殘余應(yīng)力分析儀：可檢測(cè)零件厚度方向的范圍一般為2-150mm，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)金屬鍛件、鑄件、板材及焊縫等較厚零件的表面和亞表面殘余應(yīng)力檢測(cè)，還可用于鐵軌等大型構(gòu)件的殘余應(yīng)力檢測(cè)。

- 鉆孔法殘余應(yīng)力分析儀：適用于測(cè)定各向同性線彈性材料約1毫米深度的近表面的殘余應(yīng)力。通過(guò)分層銑削鉆孔等方式，可得到沿深度方向的殘余應(yīng)力分布，適合噴丸處理、機(jī)械滾壓處理的金屬材料表面的殘余應(yīng)力分布測(cè)量。
 
此外，中子衍射法殘余應(yīng)力分析儀可檢測(cè)深度可達(dá)50mm。磁測(cè)法殘余應(yīng)力分析儀一般只能測(cè)幾十微米厚度的表面層。